5轴洁净机械手臂（真空水平多关节型）

5轴洁净机械手臂（真空水平多关节型）


5轴真空水平多关节型洁净机械手臂特点： 
5轴真空水平多关节型洁净机械手臂GTVCR5000系列
实现了下降价格，但是也可以维持以前的GTVHR5000系统的机能，功能
能够在真空环境下对应并排摆放的腔室工作台布局，能够灵活地适应不同类型设备的多种布局
通过优化机械手臂的空间尺寸，有利于减小真空腔室的内部容积
非常适合inline设备
机械手臂标准臂长：280mm, 330mm
手臂关节处使用磁流体密封装置
真空密封：磁流体密封装置以及波纹管
提高洁净度的方法：手臂内部排气口安装5μm级过滤器
双手指机构能够缩短更换晶圆时的手臂动作时间
配备动作监视器
控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式
全轴采用**值编码器规格的AC伺服电机
S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运半导体晶圆
手指材质：CFRP（碳纤维），铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质
晶圆固定方式：下托式，利用晶圆自重的边缘夹持式，利用O型胶圈的摩擦力来保持位置
可以针对搬运物体，客户设备布局的实际情况提供较优的手指



5轴真空水平多关节型洁净机械手臂基本参数：
使用环境                    洁净间内的大气：温度 15°C-40°C
工艺室温度                 较大450°C
手臂                          单臂
到达距离                    635mm (手臂*3关节中心基准)
升降轴较大行程          60mm
可搬运质量                4kg (手臂*3关节处基准)


如需详细产品参数 请联系我们衡/wafer_transfer_robot/gtvcr5330.htm



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