3轴圆柱坐标洁净机械手臂适用于半导体，可晶圆搬运

3轴圆柱坐标洁净机械手臂适用于半导体，可晶圆搬运


3轴圆柱坐标洁净机械手臂特点： 
**洁净无尘间用300mm晶圆对应MCR3000C系列
适用于半导体生产设备内部，检测设备等的晶圆搬运
全轴采用AC伺服电机满足高速搬送的需求
比MHR系列具有更好的性价比优势
机械手臂标准臂长:160mm, 200mm
适应设备需求可以选择底座固定方式，或者法兰固定方式
配备动作监视器
控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式
全轴采用**值编码器规格的AC伺服电机
S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运半导体晶圆
晶圆固定方式：真空吸附式，下托式，边缘夹持式，伯努利非接触式
手指材质：CFRP(碳纤维),铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质
可以针对被搬运物体种类，设备布局等要求提供较优的手指


3轴圆柱坐标洁净机械手臂基本参数：
使用环境                洁净间内的大气环境
手臂                      单臂
到达距离                400mm (手臂*3关节中心到达距离)
升降轴较大行程      300mm / 400mm / 500mm
可搬运质量             4kg (手臂*3关节处基准)


如需详细产品参数 请联系我们衡/wafer_transfer_robot/mcr3160c.htm



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