ATW-200全自动晶圆贴膜机由真空晶圆搬运机器人构成

ATW-200全自动晶圆贴膜机由真空晶圆搬运机器人构成



AMSEMI ATW-200全自动晶圆贴膜机特点：
·先进的ESD滚柱滚边
·全自动胶带供应和安装
·带有真空叉的多链接晶圆搬运机器人的构成
·晶圆位置和翘曲智能映射
·晶圆对准用光纤传感器
·ESD接触式晶片吸盘加热装置，用于处理各种晶片（可选）
·晶圆盒的装入&卸载
·15英寸触摸屏LCD控制标准工业PC
·全铝型材框架
·内置离子风机，用于ESD保护
·下部张力控制技术


AMSEMI全自动晶圆贴膜机ATW-200规格：
晶圆直径：4”&5”,6”&8”
晶圆厚度：300~725um
尺寸：1300mm(W)×1500mm(D)×1750mm(H)
重量：约600Kg





AMSEMI全自动晶圆贴膜机ATW-200相关产品：
衡鹏供应
AMSEMI全自动晶圆真空切割贴膜机     AFM-200
AMSEMI半自动晶圆减薄前贴膜机       ATW-08/ATW-12
AMSEMI半自动晶圆减薄后撕膜机       ADW-08 plus/ADW-08
AMSEMI半自动基板切割贴膜机         AMS-12 
AMSEMI半自动晶圆预切割贴膜机       AMW-08 AT  
AMSEMI半自动晶圆切割贴膜机         AMW-08/AMW-12
AMSEMI全自动晶圆识别/条码打印机    SWR390
AMSEMI全自动晶圆贴膜机             AMW200Pro/ATW300